背板

靶材和背板完美綁定是濺鍍工藝的一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，從而為濺鍍提供最大導(dǎo)熱性能和機(jī)械強(qiáng)度。為了滿足使用者濺鍍鍍膜的需要， 能夠依據(jù)靶材材質(zhì)的特點(diǎn)或客戶的需要，針對(duì)特定設(shè)備提供全系列背板，對(duì)靶材和背板提供高溫，低溫或粘接綁定服務(wù)。靶材背板的合理選擇與綁定能夠提高靶材的使用壽命以及鍍膜的效率，并且還能提高薄膜系數(shù)達(dá)成率。    

綁定方式 
使用金屬銦(Indium)綁定
銦綁定是黏合于蒸鍍?yōu)R鍍靶材及背板的中間。主要綁定材料可以完全性的保護(hù)阻隔靶材。金屬綁定技術(shù)具有良好的導(dǎo)電及導(dǎo)熱性，也可供DC及RF電流所使用。此種綁定可承受溫度高達(dá)156°C。

Elastomer 材質(zhì)綁定
這種彈性的綁定技術(shù)是具有專利的，最初是沒有辦法將金屬有效的綁定在金屬上。但此種技術(shù)這幾年有很大的發(fā)展，現(xiàn)在在我司業(yè)務(wù)上占有相當(dāng)高的比例。由于銦價(jià)格上漲，此種綁定技術(shù)是符合成本利益效應(yīng)的替代方案。因靶材及背板都為耗材，回收銦的這塊也比較不符合經(jīng)濟(jì)效益。

背板材料：銅、鋁、鈦，鉬，不銹鋼等
背板尺寸：2,000 × 1,500 mm
最快備貨時(shí)間：1-3天 
綁定覆蓋面：≧95%