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氮化鎵材料的發(fā)明和應用

每一種材料對科學貢獻和工業(yè)生產(chǎn)起到推動的作用,氮化鎵材料在它的發(fā)明和應用對當下科技進步和工業(yè)生產(chǎn)有非常重要的意義。無論是半導體材料,合金材料,濺射靶材,以及貴金屬材料對二十一世紀的工業(yè)發(fā)展有著重要的推動作用。

aN材料是1928年由Johason等人合成的一種Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體材料,在大氣壓力下,GaN晶體一般呈六方纖鋅礦結(jié)構(gòu),它在一個元胞中有4個原子,原子體積大約為GaAs的1/2;其化學性質(zhì)穩(wěn)定,常溫下不溶于水、酸和堿,而在熱的堿溶液中以非常緩慢的速度溶解;在HCl或H2下高溫中呈現(xiàn)不穩(wěn)定特性,而在N2下最為穩(wěn)定。GaN材料具有良好的電學特性,寬帶隙(3.39eV)、高擊穿電壓(3×106V/cm)、高電子遷移率(室溫1000cm2/V·s)、高異質(zhì)結(jié)面電荷密度(1×1013cm-2)等,因而被認為是研究短波長光電子器件以及高溫高頻大功率器件的最優(yōu)選材料,相對于硅、砷化鎵、鍺甚至碳化硅器件,GaN器件可以在更高頻率、更高功率、更高溫度的情況下工作。另外,氮化鎵器件可以在1~110GHz范圍的高頻波段應用,這覆蓋了移動通信、無線網(wǎng)絡、點到點和點到多點微波通信、雷達應用等波段。

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近年來,以GaN為代表的Ⅲ族氮化物因在光電子領域和微波器件方面的應用前景而受到廣泛的關(guān)注。作為一種具有獨特光電屬性的半導體材料,GaN的應用可以分為兩個部分:憑借GaN半導體材料在高溫高頻、大功率工作條件下的出色性能可取代部分硅和其它化合物半導體材料;憑借GaN半導體材料寬禁帶、激發(fā)藍光的獨特性質(zhì)開發(fā)新的光電應用產(chǎn)品。目前GaN光電器件和電子器件在光學存儲、激光打印、高亮度LED以及無線基站等應用領域具有明顯的競爭優(yōu)勢,其中高亮度LED、藍光激光器和功率晶體管是當前器件制造領域最為感興趣和關(guān)注的。


國外在氮化鎵體單晶材料研究方面起步較早,現(xiàn)在美國、日本和歐洲在氮化鎵體單晶材料研究方面都取得了一定的成果,都出現(xiàn)了可以生產(chǎn)氮化鎵體單晶材料的公司,其中以美國、日本的研究水平最高。


美國有很多大學、研究機構(gòu)和公司都開展了氮化鎵體單晶制備技術(shù)的研究,一直處于領先地位,先后有TDI、Kyma、ATMI、Cree、CPI等公司成功生產(chǎn)出氮化鎵單晶襯底。Kyma公司現(xiàn)在已經(jīng)可以出售1英寸、2英寸、3英寸氮化鎵單晶襯底,且已研制出4英寸氮化鎵單晶襯底。

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日本在氮化鎵襯底方面研究水平也很高,其中住友電工(SEI)和日立電線(HitachiCable)已經(jīng)開始批量生產(chǎn)氮化鎵襯底,日亞(Nichia)、Matsushita、索尼(Sony)、東芝(Toshiba)等也開展了相關(guān)研究。日立電線的氮化鎵襯底,直徑達2英寸,襯底上位錯密度都達到1×106cm-2水平。


歐洲氮化鎵體單晶的研究主要有波蘭的Top-GaN和法國的Lumilog兩家公司。TopGaN生產(chǎn)GaN材料采用HVPE工藝,位錯密度1×107cm-2,厚度0.1~2mm,面積大于400mm2。綜上,國外的氮化鎵體單晶襯底研究已經(jīng)取得了很大進展,部分公司已經(jīng)實現(xiàn)了氮化鎵體單晶襯底的商品化,技術(shù)趨于成熟,下一步的發(fā)展方向是大尺寸、高完整性、低缺陷密度、自支撐襯底材料。

氮化鎵材料有自己的優(yōu)點和缺點,在技術(shù)日益成熟的情況下,氮化鎵材料將會發(fā)揮更重要的作用!



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