ELEGRIP TAPE貼背研磨膠帶被用于在對晶圓的背面進行研削(貼背研磨)時,保護電路面以回避外界異物所造成的損傷,崩裂、裂紋(開裂)以及臟污等的污染。隨著晶圓的大口徑化、薄型化以及高凸塊設計的開發(fā),對膠帶所要求的主要特點為:①低污染、②對晶圓的追從性、③容易剝離這些方面。ELEGRIPTAPE滿足這些要求事項,再加上由于它是非水溶性型,耐水環(huán)境,不需要進行清洗。
特點
對電路面等凸凹的晶圓具有優(yōu)良的粘附性
防止塵埃的發(fā)生
對背面進行研削時,對水環(huán)境具有超群的研削精度(TTV)
具有優(yōu)良的易剝離性
抑制粘附力隨時間的變化